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DFT 4016-3 D 1.5×2 39300 93100 872 ,导程 额定动负载 ,·Fm,T ,B ,限值为 80dB(A)。 ,周围湿度范围 动态作时:5~ 85% RH 保存时:5~ 95% RH ,8 ,垫片 ,2 000 2 076 2 150 2 180 2 313 ,沉孔尺寸 ,标准配置有润滑单元「NSK K1..」,实现了长时,系列,W1404FA-3P-C5Z8 W1404FA-4-C5T8 350 393 ,φdm ,○,SFD 4005-4 间隙 1×4 15800 52300 490 ,T ep υu ,(7)将轴承固定在壳体内 ,SFT 3606-5 间隙 2.5×2 26500 78500 615 ,方向为正值。,图Ⅱ -6·1 定位预压(双螺母) ,螺母尺寸 ,⑤铣削加工 ,B,导程1、2,式算出 ,电机马达安装托架(可供选择品)4 传感器导轨(可供选择品) 2 传感器单元(可供选择品) 1 ,46,·,循环部分的构造如图Ⅲ -1·4 的所示。 ,预压符号·0:Z0,轨道单件符号 预压符号 ,◎ ,侧密封 ,PE05AR PE07TR PE09TR PE09UR PE12AR PE12BR PE15AR PE15BR ,.....16...... ,2. 轴外径 14mm 以下的型号没有注油孔。 ,103 2 4 6 8 104 2 4 6 8 105 2 4 ,A-Ⅴ -4.1 HA系列,半导体制造装置,B- Ⅱ -14.3  滚珠丝杠和支撑单元的安装 ,E ,额定静负 ,Rc1/8,量的标准值 ,极限转 ,①如负载和转数被分为复数个阶段时 ,0.054 0.035 0.120 ,= (60×288×24000)1/3×2940×1.2×10-2 ,轴 ,B315 B319 ,Q ,单位:mm ,额定载荷,型号 ,(底部密封), ,162 ,3. 允许转速根据 d·n 值和危险速度而定。请参照 B169 与 B51 页。 ,Q(注油孔) ,SGMJV-A5A SGMAV-A5A SGMJV-01A SGMAV-01A SGMAV-C2A ,HS20 M5 LG-CAP/M5 20个 /箱 ,ZFT 3205-5 Z 2.5×1 10200 28000 552 ,走行距离图Ⅲ -2·4 接近直线的变动负载 ,  $6$6& ,(两端) ,(cm3) ,C64 C65 C67 ,·,高度 H E W2 宽度 W 长度 L 安装孔 B1 L1 J1 K 轨道宽度 W1 轨道高度 H1 ,υ 300 ·在丝杠 部分有效 长度内,针对任意采样的300mm的最大幅度。 表Ⅱ -1·3、4 ,2. 由于供货时只涂了防锈剂,使用时请补充润滑剂(油或润滑脂)。详细参照 D13 页。 , 60°,制造装置 ,1.直线导轨的润滑 ,★, 位移计算,1:Z1,32 ,10 2 ● ,内径 ,●,3. 极限转速由 d·n 值与危险速度及最大转速而定。请参照 B383 页、B51 页。 ,值 ,直线导轨 ,滑油。 , ·,2…木屑量:中 ,螺孔深4(两面) 2418 48 ,100 270 ,(注油孔) ,25 62 M25×1.5 20 20 33 32 8 10 27 12 WBK25-01 WBK25-11 ,螺母部分形状 ,(2)定压预压(J 预压:弹簧预压) ,81 ,阻,单位:mm ,备注:4. 表中所示刚性值是在轴向负载为额定动负载(Ca)的 30%时,根据螺纹轴底槽和滚珠间的弹性位移量计算出的理论值;是 Z、 ,Lo ,60° ,①轴向负载许可范围 B48 页 ,行程 ,注意不要损伤密封唇部。 ,(L:标准) *拼接形式符号材料·表面处理记号(参阅 A218页),·LH系列预压保证品精度标准 表Ⅴ -1·3-2 单位:μm ,δz=-14.2-(-9.3)=-4.9(μm)δz= 14.3 - (-9.3) = 23.6(μm),最小V ,(E),    预压保证品    互换性产品 ,ZFD3210-6 32 10 12 12 138 φ46 MAXφ48 ,0.025 0.020 0.070 0.6 ~ 4.3 0.4 ,参阅表Ⅴ -3 ·1-1、图Ⅴ -3 ·1-2相对 B面的 D面走行平行度,  5. 轴径在 14mm 以下时,为合成树脂密封;轴径在 16mm 以上时,为薄密封。 ,HMC 型比较,噪音水平减小 5dB 以上。 ,φA ,K ,● 小型、轻量 ,圈数 ,B, HTF-SRC 型是作为大负载驱动用,对螺母内的负载 ,** ,W1003KA-3P-C3Z4 300 310 360 365 375 430 ,2. 对于 SFD、ZFD、DFD 型号,没有密封时,螺母的长度与带密封相比,只有 M 变短。MSFD、MPFD 的螺母长度没有变化。 , 在搬送用滚珠丝杠等使用衬垫时,请仅将 L1 部位 ,单法兰盘 ,—. — ,153 ,225 141 167 70 70 ,L ,LS20 M5 LG-CAP/M5 20个 /箱 ,  型号 轨道安装螺栓 堵盖公称型号 装箱数量 ,38 ,危险速度 : 受螺杆的固有振动频率限制。根据安 ,54 ,机构内部摩擦特性有利的合成树脂,提高了作动性。 ,单位:mm ,轴摆动 ,◎. ,固定 - 支持 固定 - 固定 ,由 B512 页的表 II-3·1 得出: ,** ,MCM08用,下密封(底部密封)侧密封,30° ,15 12.5 60 *3.5×6×4.5 4.5×7.5×5.3 7.5 2000 (1700) 5400 8350 9100 16900 46 85 25 77 21 65 2.778 0.17 0.26 1.4 ,56 44 ,LL,-240 ,500 ,组装宽度对 W2或 W3 组装宽度对 W2或 W3的相互差 (基准侧滑块全部数量) ±153 LH08,10,12 LH15~ ±10 ±15 5 7 LH08,10,12LH15 ~ ±15 ±25 7 10 LH08,10,12 LH15~ ±25 ±50 10 20 LH08,10,12 LH15~ ±50 ±100 20 30 ,搬送用滚珠丝杠管 管循环式单法兰盘螺母(小·中导程) ,X ,140 152 198 0 0.010 0.008 0.030 0.10 3000 ,精度等级(参照A270页) 设计编号,俯视X-X 内腔形C ,N·π2 ·E·I ,T1,LDFT 6-φ通孔 ,◎ ,L0 ,螺母 ,90 ,  4.2 精度等级..………………B19 ,润滑脂 ,EM4030-6E 40 30 7.144 41.5 34.1 79100 191000 1350 ,X,轨道长度(mm),ZFT5010-10 50 10 19 20 194 φ73 MAXφ76 ,K ,PCD W ,400 ,保持架,试样走行速度. ,额定静 ,.. ..... .... ,后加工部 ,滚珠直径 ,X φA ,高度 H E W2 宽度 W 长度 L 安装孔 B1 L1 J1 K T 润滑脂注入嘴 ,●双滑块的额定静扭矩是指带有 K1的两个滑块紧贴在一起时的数值。,UPFC 2040-3 P 1.7×2 9620 21000 451 ,正交座标型机器手,d d1 L1 m1 mL1 E d2 L2 k B h H S 公称型号 ,2 = —— ×34.42 = 929.4 (mm2) ,互换型产品轨道单件的公称型号普通轨道(非拼接轨道)时公称型号例,左侧端 导程精度 , 标准 5 - ,Ⅱ -0.014 0.030 0.023 0.040 8.1 1750 - ,D,F ,冲击和振动 ,轴向间隙 ,10 P7 10.2 ,圈数 ,11 ,C 特殊高碳素钢(NSK标准材) ,W0601MS-1Y-C3T1 110 6 1 0.8 6.2 5.2 3 ,KL标志 ,1.,弹DFT 4016-3 D 1.5×2 39300 93100 872 ,导程 额定动负载 ,·Fm,T ,B ,限值为 80dB(A)。 ,周围湿度范围 动态作时:5~ 85% RH 保存时:5~ 95% RH ,8 ,垫片 ,2 000 2 076 2 150 2 180 2 313 ,沉孔尺寸 ,标准配置有润滑单元「NSK K1..」,实现了长时,系列,W1404FA-3P-C5Z8 W1404FA-4-C5T8 350 393 ,φdm ,○,SFD 4005-4 间隙 1×4 15800 52300 490 ,T ep υu ,(7)将轴承固定在壳体内 ,SFT 3606-5 间隙 2.5×2 26500 78500 615 ,方向为正值。,图Ⅱ -6·1 定位预压(双螺母) ,螺母尺寸 ,⑤铣削加工 ,B,导程1、2,式算出 ,电机马达安装托架(可供选择品)4 传感器导轨(可供选择品) 2 传感器单元(可供选择品) 1 ,46,·,循环部分的构造如图Ⅲ -1·4 的所示。 ,预压符号·0:Z0,轨道单件符号 预压符号 ,◎ ,侧密封 ,PE05AR PE07TR PE09TR PE09UR PE12AR PE12BR PE15AR PE15BR ,.....16...... ,2. 轴外径 14mm 以下的型号没有注油孔。 ,103 2 4 6 8 104 2 4 6 8 105 2 4 ,A-Ⅴ -4.1 HA系列,半导体制造装置,B- Ⅱ -14.3  滚珠丝杠和支撑单元的安装 ,E ,额定静负 ,Rc1/8,量的标准值 ,极限转 ,①如负载和转数被分为复数个阶段时 ,0.054 0.035 0.120 ,= (60×288×24000)1/3×2940×1.2×10-2 ,轴 ,B315 B319 ,Q ,单位:mm ,额定载荷,型号 ,(底部密封), ,162 ,3. 允许转速根据 d·n 值和危险速度而定。请参照 B169 与 B51 页。 ,Q(注油孔) ,SGMJV-A5A SGMAV-A5A SGMJV-01A SGMAV-01A SGMAV-C2A ,HS20 M5 LG-CAP/M5 20个 /箱 ,ZFT 3205-5 Z 2.5×1 10200 28000 552 ,走行距离图Ⅲ -2·4 接近直线的变动负载 ,  $6$6& ,(两端) ,(cm3) ,C64 C65 C67 ,·,高度 H E W2 宽度 W 长度 L 安装孔 B1 L1 J1 K 轨道宽度 W1 轨道高度 H1 ,υ 300 ·在丝杠 部分有效 长度内,针对任意采样的300mm的最大幅度。 表Ⅱ -1·3、4 ,2. 由于供货时只涂了防锈剂,使用时请补充润滑剂(油或润滑脂)。详细参照 D13 页。 , 60°,制造装置 ,1.直线导轨的润滑 ,★, 位移计算,1:Z1,32 ,10 2 ● ,内径 ,●,3. 极限转速由 d·n 值与危险速度及最大转速而定。请参照 B383 页、B51 页。 ,值 ,直线导轨 ,滑油。 , ·,2…木屑量:中 ,螺孔深4(两面) 2418 48 ,100 270 ,(注油孔) ,25 62 M25×1.5 20 20 33 32 8 10 27 12 WBK25-01 WBK25-11 ,螺母部分形状 ,(2)定压预压(J 预压:弹簧预压) ,81 ,阻,单位:mm ,备注:4. 表中所示刚性值是在轴向负载为额定动负载(Ca)的 30%时,根据螺纹轴底槽和滚珠间的弹性位移量计算出的理论值;是 Z、 ,Lo ,60° ,①轴向负载许可范围 B48 页 ,行程 ,注意不要损伤密封唇部。 ,(L:标准) *拼接形式符号材料·表面处理记号(参阅 A218页),·LH系列预压保证品精度标准 表Ⅴ -1·3-2 单位:μm ,δz=-14.2-(-9.3)=-4.9(μm)δz= 14.3 - (-9.3) = 23.6(μm),最小V ,(E),    预压保证品    互换性产品 ,ZFD3210-6 32 10 12 12 138 φ46 MAXφ48 ,0.025 0.020 0.070 0.6 ~ 4.3 0.4 ,参阅表Ⅴ -3 ·1-1、图Ⅴ -3 ·1-2相对 B面的 D面走行平行度,  5. 轴径在 14mm 以下时,为合成树脂密封;轴径在 16mm 以上时,为薄密封。 ,HMC 型比较,噪音水平减小 5dB 以上。 ,φA ,K ,● 小型、轻量 ,圈数 ,B, HTF-SRC 型是作为大负载驱动用,对螺母内的负载 ,** ,W1003KA-3P-C3Z4 300 310 360 365 375 430 ,2. 对于 SFD、ZFD、DFD 型号,没有密封时,螺母的长度与带密封相比,只有 M 变短。MSFD、MPFD 的螺母长度没有变化。 , 在搬送用滚珠丝杠等使用衬垫时,请仅将 L1 部位 ,单法兰盘 ,—. — ,153 ,225 141 167 70 70 ,L ,LS20 M5 LG-CAP/M5 20个 /箱 ,  型号 轨道安装螺栓 堵盖公称型号 装箱数量 ,38 ,危险速度 : 受螺杆的固有振动频率限制。根据安 ,54 ,机构内部摩擦特性有利的合成树脂,提高了作动性。 ,单位:mm ,轴摆动 ,◎. ,固定 - 支持 固定 - 固定 ,由 B512 页的表 II-3·1 得出: ,** ,MCM08用,下密封(底部密封)侧密封,30° ,15 12.5 60 *3.5×6×4.5 4.5×7.5×5.3 7.5 2000 (1700) 5400 8350 9100 16900 46 85 25 77 21 65 2.778 0.17 0.26 1.4 ,56 44 ,LL,-240 ,500 ,组装宽度对 W2或 W3 组装宽度对 W2或 W3的相互差 (基准侧滑块全部数量) ±153 LH08,10,12 LH15~ ±10 ±15 5 7 LH08,10,12LH15 ~ ±15 ±25 7 10 LH08,10,12 LH15~ ±25 ±50 10 20 LH08,10,12 LH15~ ±50 ±100 20 30 ,搬送用滚珠丝杠管 管循环式单法兰盘螺母(小·中导程) ,X ,140 152 198 0 0.010 0.008 0.030 0.10 3000 ,精度等级(参照A270页) 设计编号,俯视X-X 内腔形C ,N·π2 ·E·I ,T1,LDFT 6-φ通孔 ,◎ ,L0 ,螺母 ,90 ,  4.2 精度等级..………………B19 ,润滑脂 ,EM4030-6E 40 30 7.144 41.5 34.1 79100 191000 1350 ,X,轨道长度(mm),ZFT5010-10 50 10 19 20 194 φ73 MAXφ76 ,K ,PCD W ,400 ,保持架,试样走行速度. ,额定静 ,.. ..... .... ,后加工部 ,滚珠直径 ,X φA ,高度 H E W2 宽度 W 长度 L 安装孔 B1 L1 J1 K T 润滑脂注入嘴 ,●双滑块的额定静扭矩是指带有 K1的两个滑块紧贴在一起时的数值。,UPFC 2040-3 P 1.7×2 9620 21000 451 ,正交座标型机器手,d d1 L1 m1 mL1 E d2 L2 k B h H S 公称型号 ,2 = —— ×34.42 = 929.4 (mm2) ,互换型产品轨道单件的公称型号普通轨道(非拼接轨道)时公称型号例,左侧端 导程精度 , 标准 5 - ,Ⅱ -0.014 0.030 0.023 0.040 8.1 1750 - ,D,F ,冲击和振动 ,轴向间隙 ,10 P7 10.2 ,圈数 ,11 ,C 特殊高碳素钢(NSK标准材) ,W0601MS-1Y-C3T1 110 6 1 0.8 6.2 5.2 3 ,KL标志 ,1.,弹

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